fa مروری بر خازن‌های بین انگشتی و نحوه ی عملکرد آنها در سنسور مختلف با استفاده از دی‌الکتریک مایع تخصصي Special علمی- ترویجی Scientific-extension <span dir="RTL"><span style="font-family:Arial,sans-serif;"><span style="font-size:11.0pt;">سنسورهای خازنی در مقایسه با سایر سنسورها، دارای مزایای بسیاری از قبیل قابلیت اندازه‌گیری خطی، حساسیت عالی، اصول عملکردی و ساخت آسان و&hellip; هستند. در ساختار این سنسورها اصطکاک و سایش وجود ندارد به همین دلیل دما، رطوبت و اختلالات مکانیکی بر عملکرد آنها تاثیر نمی‌گذارد. با افزایش تقاضا برای یکپارچه‌سازی سیستم‌های الکترونیکی بر روی تراشه و نیاز به کوچک‌سازی سنسورها، سنسورهای مبتنی بر خازن‌های بین انگشتی بسیار مورد توجه قرارگرفته‌اند. پیکربندی سنسورهای خازنی بین انگشتی از تعدادی زوج الکترود شانه‌ای بر روی یک بستر عایق، تشکیل‌شده است که به‌صورت یک در میان به پایانه زمین و ترمینال وصل می‌شوند. خطوط میدان از طریق بستر و دی‌الکتریک قرارگرفته بر روی الکترودها، بسته می‌شوند. ظرفیت خازنی آن‌ها با تغییر تعداد انگشتان، ابعاد، فواصل آن‌ها و گذردهی بستر تغییر می‌کند. ظرفیت و حساسیت خازن‌های بین انگشتی در مقایسه با سایر خازن‌ها به نسبت بالاتر است، به علاوه دارای ساختاری ساده، ساخت آسان و ‌هزینه کم هستند. مزایای خازن‌های بین انگشتی، آن‌ها را به گزینه‌ای محبوب برای&nbsp; کاربرد در سنسورها تبدیل کرده است. همچنین از این خازن‌ها به‌عنوان مبدل در سنسورهای شیمیایی و بیولوژیکی و در مخابرات استفاده می‌شود. در این مقاله، به مروری بر سنسورهای ساخته‌شده بر اساس خازن‌های بین انگشتی بر اساس دی الکتریک مایع پرداخته‌ایم</span></span></span> Compared to the other sensors, capacitive one exhibits many advantages such as linear measurement capability, excellent sensitivity, easy-to-use principles and ease of manufacturing. There is no friction in these types of sensors, thus temperature, humidity, and mechanical disturbances don&rsquo;t affect their performance. Due to the growing demand for the integrated on-chip electronic systems and need for the sensor downscaling, interdigital capacitor type of the sensors has become increasingly popular. Interdigital capacitors (IDC) are fabricated on an insulating substrate. Electrodes of the IDCs are located on the same plate, which are connected to the ground or terminal voltage. The electrical field lines are closed through the substrate and dielectric material, which is placed on the electrodes. Moreover, based on the number of fingers and their geometrical specifications, capacitance of the IDCs varies. Sensitivity and capacitance of the interdigital capacitors are relatively higher in comparison with the other capacitors. Advantages of the IDCs make them a proper option for using in the sensors. These capacitors are also used in the chemical and biological sensors and in the telecommunications. In this study, a review on the capacitive sensors based on the IDCs and liquid dielectric has been accomplished. سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی, سنسورهای خازنی, خازن بین انگشتی, دی الکتریک مایع. Micro Electromechanical systems, Capacitive sensors, Inter-finger Capacitors, Liquid Dielectrics 51 59 http://kiaeee.ir/browse.php?a_code=A-10-234-3&slc_lang=fa&sid=1 زینب ورع nazaninzeinab.varaa@yahoo.com 1003194753284600854 1003194753284600854 Yes آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان مهدیه مهران m.mehran@uk.ac.ir 1003194753284600855 1003194753284600855 No آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان