fa مروری بر کاربرد خازن‌های بین انگشتی در سنسورهای خازنی تخصصي Special علمی- ترویجی Scientific-extension &nbsp;<span dir="RTL"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:14.0pt;">سنسور المانی است که یک کمیت فیزیکی را به سیگنال الکتریکی تبدیل می‌کند. سنسورهای خازنی به‌دلیل عملکرد خوب، داشتن، حساسیت عالی، طراحی و ساخت آسان و</span></span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:Sakkal Majalla;"><span style="font-size:14.0pt;">&hellip;</span></span></span><span dir="RTL"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:14.0pt;"> بیشتر از سنسورهای دیگر مورد توجه قرار گرفته‌اند. با افزایش تقاضا برای یکپارچه‌سازی سیستم‌های الکترونیکی بر روی تراشه و نیاز به کوچک‌سازی سنسورها، سنسورهای خازنی مبتنی بر خازن‌ بین انگشتی بسیار مورد توجه قرار گرفته‌اند. خازن بین انگشتی، از تعدادی زوج الکترود شانه‌ای بر روی بستر عایق تشکیل می‌شود. این خازن‌ها متداول‌ترین ساختار خازنی مورد استفاده در حوزه سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی هستند که ظرفیت و حساسیت آنها در مقایسه با سایر خازن‌ها به نسبت بالاتر است. مزایای خازن‌های بین انگشتی، آن‌ها را به گزینه‌ای محبوب برای کاربرد در سنسورهای مختلف تبدیل کرده است. این مقاله به مروری بر کاربرد خازن‌های بین انگشتی در سنسورهای خازنی مختلف، پرداخته است</span></span></span><span style="font-size:14.0pt;">. </span><span dir="RTL"><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:14.0pt;"></span></span></span><br> &nbsp; Sensor is a device that converts signals from one physical energy domain to electrical domain. Capacitive sensors have gain lots of attention because of their good performance, excellent sensitivity, easy-to-use principles, ease of manufacturing, etc. Due to the growing demand for the integrated on-chip electronic systems and need for the sensor downscaling, interdigital capacitor type of the sensors has become increasingly popular. These capacitors are the most common used capacitor structures in the micro electro-mechanical systems and are multi-finger periodic structures on an insulating substrate. Sensitivity and capacitance of the IDTs are relatively higher in comparison with the other capacitors that makes them to an attractive candidate in the sensor applications. This study reviews application of IDTs in the capacitive sensors. خازن‌های بین انگشتی, سنسورهای خازنی, سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی Interdigital capacitor, Capacitive sensors, MEMS. 52 60 http://kiaeee.ir/browse.php?a_code=A-10-234-2&slc_lang=fa&sid=1 زینب ورع nazaninzeinab.varaa@yahoo.com 1003194753284600808 1003194753284600808 No آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان مهدیه مهران m.mehran@uk.ac.ir 1003194753284600809 1003194753284600809 Yes آزمایشگاه RF MEMS و بایونانوالکترونیک بخش مهندسی برق دانشگاه شهید باهنر کرمان